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1.采用德國SB雙重閉環運動控制系統，電機在高速運動時具有精確的定位性能。
2.采用原裝日本進口COOMUSK伺服電機，提高了機器運行速度，還簡化了儀器與PC機的接口，PC機與儀器通過USB線和S端子線連接。
3.采用花崗石平臺、新型立柱及工作臺，外觀簡潔大方。
4.表面光由獨立40組光源組成，每一組均為恒流源驅動，200級連續可調。
5.配有我公司專用的CNC軟件，大大提高測量效率。
技術規格參數：
| 儀器型號 | VMU3020 | VMU4030 | VMU5030 | ||||||
工作臺 |
工作臺尺寸 | 600*390 | 700*540 | 800*540 | |||||
| 玻璃臺尺寸 | 350*250 | 450*350 | 550*350 | ||||||
| 運動行程X.Y | 300*200 | 400*300 | 500*300 | ||||||
| Z軸升降行程 | 200(Focus) | 200(Focus) | 200(Focus) | ||||||
| X、Y、Z軸數顯分辨率 | 1.0um | 1.0um | 1.0um | ||||||
| X、Y坐標示值誤差 | ≤（3.0+L/200）L為被測長度，單位：mm） | ||||||||
| 儀器重量 | 330 | 450 | 500 | ||||||
| 外形尺寸 | 620*840*1620 | 720*1040*1620 | 800*1040*1620 | ||||||
| 電機 | 三軸運動速度 | 200mm/s | |||||||
| 三軸定位精度 | 0.001mm | ||||||||
影像系統 |
攝像機 | 德國COMST1/3CCD攝像機 | |||||||
| 變焦鏡頭 | 變焦鏡頭帶同軸光變焦鏡頭（二選一） | ||||||||
| 變焦鏡頭倍率 | 0.7-4.5X | ||||||||
| 視頻總倍率 | 20-128X | ||||||||
| 物方視場 | 11.1-1.7mm | ||||||||
| 電源 | AC220V/AC110V | ||||||||
| 消耗功率 | 100W | ||||||||
| 儀器配件 | 1X鏡筒（標配） | 0.5X鏡筒（選配） | 工作距離 | ||||||
| 變焦鏡頭 | 0.7-4.5X | 0.7-4.5X | |||||||
| 添加鏡頭 | 視頻放大 | 物方視場 | 視頻放大 | 物方視場 | |||||
| 0.5X 可選 | 10X-64X | 22-3.4 | 5X-32X | 44-6.8 | 175 | ||||
| 標準型 | 20X-128X | 11.1-1.7X | 10X-64X | 22-3.4 | 92 | ||||
| 2X可選 | 40X-256X | 5.5-0.9 | 20X-128X | 11.1-1.7 | 36 | ||||